微机电系统工程专业，专业在光、机、电技术一体化方面的优势和研究成果为微机电系统技术方面的研究和发展打下了坚实的基础。本专业在微纳米和微机电系统如微泵、微传感器、微加速度计等一系列微器件的设计、制造、工艺、测试以及基础理论等方面进行了深入的研究,其它的研究领域还有:微陀螺和微惯导系统、微光学器件、微测量技术、小飞机、小卫星和微米卫星、纳米摩擦学以及光盘机读写头微型机构等。该专业是以机、电技术，尤其是微机械为基础的，综合多种学科领域技术的新型交叉学科。主要培养从事微机电系统工程方面的设计制造，生产运行、科技开发和技术经济管理方面的人才。
微机电系统工程专业比较好的大学有：北京航空航天大学、西北工业大学。以下是开设微机电系统工程专业的大学名单：
序号学校名称学校所在地
1北京航空航天大学北京
2西北工业大学陕西
